這類儀表中有利用α射線、β射線、γ射線穿透特性的放射性厚度計；有利用超聲波頻率變化的超聲波厚度計；有利用渦流原理的電渦流厚度計；還有利用機械接觸式測量原理的測厚儀等。

 

　　薄膜測厚儀用于測定材料本身厚度或材料表面覆蓋層厚度的儀器。有些構件在制造和檢修時必須測量其厚度，以便了解材料的厚薄規格，各點均勻度和材料腐蝕、磨損程度；有時則要測定材料表面的覆蓋層厚度，以保證產品質量和生產安全。根據測定原理的不同，常用測厚儀有超聲、磁性、渦流、同位素等四種。

 

　　薄膜測厚儀超聲波在各種介質中的聲速是不同的，但在同一介質中聲速是一常數。超聲波在介質中傳播遇到第二種介質時會被反射，測量超聲波脈沖從發射至接收的間隔時間，即可將這間隔時間換算成厚度。在電力工業中應用廣的就是這類測厚儀。常用于測定鍋爐鍋筒、受熱面管子、管道等的厚度，也用于校核工件結構尺寸等。這類測厚儀多是攜帶式的，體積與小型半導體收音機相近，厚度值的顯示多是數字式的。對于鋼材，大測定厚度達2000 mm左右，精度在±0.01～±0.1 mm之間。

 

　　薄膜測厚儀在測定各種導磁材料的磁阻時，測定值會因其表面非導磁覆蓋層厚度的不同而發生變化。利用這種變化即可測知覆蓋層厚度值。常用于測定鐵磁金屬表面上的噴鋁層、塑料層、電鍍層、磷化層、油漆層等的厚度。

 

　　薄膜測厚儀當載有高頻電流的探頭線圈置于被測金屬表面時，由于高頻磁場的作用而使金屬體內產生渦流，此渦流產生的磁場又反作用于探頭線圈，使其阻抗發生變化，此變化量與探頭線圈離金屬表面的距離（即覆蓋層的厚度）有關，因而根據探頭線圈阻抗的變化可間接測量金屬表面覆蓋層的厚度。常用于測定鋁材上的氧化膜或鋁、銅表面上其他絕緣覆蓋層的厚度。

 

　　同位素測厚儀利用物質厚度不同對輻射的吸收與散射不同的原理，可以測定薄鋼板、薄銅板、薄鋁板、硅鋼片、合金片等金屬材料及橡膠片，塑料膜，紙張等的厚度。常用的同位素射線有γ射線、β射線等

 

　　薄膜測厚儀測量注意事項：

 

　　⒈在進行測試的時候要注意標準片集體的金屬磁性和表面粗糙度應當與試件相似。

 

　?、矞y量時側頭與試樣表面保持垂直。

 

　?、硿y量時要注意基體金屬的臨界厚度，如果大于這個厚度測量就不受基體金屬厚度的影響。

 

　　⒋測量時要注意試件的曲率對測量的影響。因此在彎曲的試件表面上測量時不可靠的。

 

　?、禍y量前要注意周圍其他的電器設備會不會產生磁場，如果會將會干擾磁性測厚法。

 

　?、稖y量時要注意不要在內轉角處和靠近試件邊緣處測量，因為一般的測厚儀試件表面形狀的忽然變化很敏感。

 

　?、吩跍y量時要保持壓力的恒定，否則會影響測量的讀數。

 

　　⒏在進行測試的時候要注意儀器測頭和被測試件的要直接接觸，因此超聲波測厚儀在進行對側頭清除附著物質。